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1. Identificação
Tipo de ReferênciaArtigo em Revista Científica (Journal Article)
Sitemtc-m21b.sid.inpe.br
Código do Detentorisadg {BR SPINPE} ibi 8JMKD3MGPCW/3DT298S
Identificador8JMKD3MGP3W34P/3L9LS3P
Repositóriosid.inpe.br/mtc-m21b/2016/03.03.17.59
Última Atualização2016:03.03.18.00.37 (UTC) administrator
Repositório de Metadadossid.inpe.br/mtc-m21b/2016/03.03.17.59.26
Última Atualização dos Metadados2018:06.04.02.40.37 (UTC) administrator
DOI10.1063/1.4939013
ISSN0034-6748
Chave de CitaçãoUedaSPMORLP:2016:NeMePl
TítuloNew method of plasma immersion ion implantation and also deposition of industrial components using tubular fixture and plasma generated inside the tube by high voltage pulses
Ano2016
MêsJan.
Data de Acesso09 maio 2024
Tipo de Trabalhojournal article
Tipo SecundárioPRE PI
Número de Arquivos1
Tamanho5161 KiB
2. Contextualização
Autor1 Ueda, Mário
2 Silva Junior, Ataide Ribeiro da
3 Pillaca, Elver Juan de Dios Mitma
4 Mariano, Samantha de Fátima Magalhães
5 Oliveira, Rogério de Moraes
6 Rossi, José Osvaldo
7 Lepienski, Carlos Maurício
8 Pichon, Luc
Identificador de Curriculo1 8JMKD3MGP5W/3C9JHSB
2
3
4
5 8JMKD3MGP5W/3C9JJ6L
6 8JMKD3MGP5W/3C9JHJ5
Grupo1 LAP-CTE-INPE-MCTI-GOV-BR
2 CMS-ETES-SPG-INPE-MCTI-GOV-BR
3 CMS-ETES-SPG-INPE-MCTI-GOV-BR
4 CMS-ETES-SPG-INPE-MCTI-GOV-BR
5 LAP-CTE-INPE-MCTI-GOV-BR
6 LAP-CTE-INPE-MCTI-GOV-BR
Afiliação1 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
2 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
3 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
4 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
5 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
6 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
7 Universidade Federal do Paraná (UFPR)
8 Institut Pprime
Endereço de e-Mail do Autor1 ueda@plasma.inpe.br
2 ataide@plasma.inpe.br
3 elver.mitma@inpe.br
4 samantha.magalhães@plasma.inpe.br
5 rogerio.oliveira@inpe.br
6 jose.rossi@inpe.br
RevistaReview of Scientific Instruments
Volume87
Número1
Páginas013902
Nota SecundáriaA1_ENGENHARIAS_IV A2_INTERDISCIPLINAR A2_ENGENHARIAS_III B1_ENGENHARIAS_II B1_ASTRONOMIA_/_FÍSICA B2_ODONTOLOGIA B2_MEDICINA_I B3_QUÍMICA B3_MATERIAIS B3_ENSINO B3_CIÊNCIAS_BIOLÓGICAS_I
Histórico (UTC)2016-03-03 17:59:26 :: simone -> administrator ::
2018-06-04 02:40:37 :: administrator -> simone :: 2016
3. Conteúdo e estrutura
É a matriz ou uma cópia?é a matriz
Estágio do Conteúdoconcluido
Transferível1
Tipo do ConteúdoExternal Contribution
Tipo de Versãopublisher
ResumoA new method of Plasma Immersion Ion Implantation (PIII) and deposition (PIII and D) for treating industrial components in the batch mode has been developed. A metal tubular fixture is used to allocate the components inside, around, and along the tube, exposing only the parts of each component that are to be ion implanted to the plasma. Hollow cathode-like plasma is generated only inside the tube filled with the desired gas, by applying high negative voltage pulses to the hollow cylindrical fixture which is insulated from the vacuum chamber walls. This is a very convenient method of batch processing of industrial parts by ion implantation, in which a large number of small to medium sized components can be treated by PIII and PIII and D, very quickly, efficiently, and also at low cost.
ÁreaFISPLASMA
Arranjo 1urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção anterior à 2021 > LABAP > New method of...
Arranjo 2urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção pgr ATUAIS > CMS > New method of...
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Conteúdo da Pasta sourcenão têm arquivos
Conteúdo da Pasta agreement
agreement.html 03/03/2016 14:59 1.0 KiB 
4. Condições de acesso e uso
URL dos dadoshttp://urlib.net/ibi/8JMKD3MGP3W34P/3L9LS3P
URL dos dados zipadoshttp://urlib.net/zip/8JMKD3MGP3W34P/3L9LS3P
Idiomaen
Arquivo Alvoueda.pdf
Grupo de Usuáriossimone
Grupo de Leitoresadministrator
simone
Visibilidadeshown
Política de Arquivamentoallowpublisher allowfinaldraft
Permissão de Atualizaçãonão transferida
5. Fontes relacionadas
Repositório Espelhourlib.net/www/2011/03.29.20.55
Unidades Imediatamente Superiores8JMKD3MGPCW/3ET2RFS
8JMKD3MGPCW/3F358GL
Lista de Itens Citandosid.inpe.br/mtc-m21/2012/07.13.14.52.24 2
sid.inpe.br/mtc-m21/2012/07.13.14.59.24 2
sid.inpe.br/bibdigital/2013/09.25.21.49 1
DivulgaçãoWEBSCI; PORTALCAPES; MGA; COMPENDEX; SCOPUS.
Acervo Hospedeirosid.inpe.br/mtc-m21b/2013/09.26.14.25.20
6. Notas
Campos Vaziosalternatejournal archivist callnumber copyholder copyright creatorhistory descriptionlevel e-mailaddress format isbn keywords label lineage mark nextedition notes orcid parameterlist parentrepositories previousedition previouslowerunit progress project readpermission rightsholder schedulinginformation secondarydate secondarykey session shorttitle sponsor subject tertiarymark tertiarytype url
7. Controle da descrição
e-Mail (login)simone
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