1. Identificação | |
Tipo de Referência | Artigo em Revista Científica (Journal Article) |
Site | mtc-m21b.sid.inpe.br |
Código do Detentor | isadg {BR SPINPE} ibi 8JMKD3MGPCW/3DT298S |
Identificador | 8JMKD3MGP3W34P/3L9LS3P |
Repositório | sid.inpe.br/mtc-m21b/2016/03.03.17.59 |
Última Atualização | 2016:03.03.18.00.37 (UTC) administrator |
Repositório de Metadados | sid.inpe.br/mtc-m21b/2016/03.03.17.59.26 |
Última Atualização dos Metadados | 2018:06.04.02.40.37 (UTC) administrator |
DOI | 10.1063/1.4939013 |
ISSN | 0034-6748 |
Chave de Citação | UedaSPMORLP:2016:NeMePl |
Título | New method of plasma immersion ion implantation and also deposition of industrial components using tubular fixture and plasma generated inside the tube by high voltage pulses |
Ano | 2016 |
Mês | Jan. |
Data de Acesso | 09 maio 2024 |
Tipo de Trabalho | journal article |
Tipo Secundário | PRE PI |
Número de Arquivos | 1 |
Tamanho | 5161 KiB |
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2. Contextualização | |
Autor | 1 Ueda, Mário 2 Silva Junior, Ataide Ribeiro da 3 Pillaca, Elver Juan de Dios Mitma 4 Mariano, Samantha de Fátima Magalhães 5 Oliveira, Rogério de Moraes 6 Rossi, José Osvaldo 7 Lepienski, Carlos Maurício 8 Pichon, Luc |
Identificador de Curriculo | 1 8JMKD3MGP5W/3C9JHSB 2 3 4 5 8JMKD3MGP5W/3C9JJ6L 6 8JMKD3MGP5W/3C9JHJ5 |
Grupo | 1 LAP-CTE-INPE-MCTI-GOV-BR 2 CMS-ETES-SPG-INPE-MCTI-GOV-BR 3 CMS-ETES-SPG-INPE-MCTI-GOV-BR 4 CMS-ETES-SPG-INPE-MCTI-GOV-BR 5 LAP-CTE-INPE-MCTI-GOV-BR 6 LAP-CTE-INPE-MCTI-GOV-BR |
Afiliação | 1 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) 2 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) 3 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) 4 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) 5 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) 6 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) 7 Universidade Federal do Paraná (UFPR) 8 Institut Pprime |
Endereço de e-Mail do Autor | 1 ueda@plasma.inpe.br 2 ataide@plasma.inpe.br 3 elver.mitma@inpe.br 4 samantha.magalhães@plasma.inpe.br 5 rogerio.oliveira@inpe.br 6 jose.rossi@inpe.br |
Revista | Review of Scientific Instruments |
Volume | 87 |
Número | 1 |
Páginas | 013902 |
Nota Secundária | A1_ENGENHARIAS_IV A2_INTERDISCIPLINAR A2_ENGENHARIAS_III B1_ENGENHARIAS_II B1_ASTRONOMIA_/_FÍSICA B2_ODONTOLOGIA B2_MEDICINA_I B3_QUÍMICA B3_MATERIAIS B3_ENSINO B3_CIÊNCIAS_BIOLÓGICAS_I |
Histórico (UTC) | 2016-03-03 17:59:26 :: simone -> administrator :: 2018-06-04 02:40:37 :: administrator -> simone :: 2016 |
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3. Conteúdo e estrutura | |
É a matriz ou uma cópia? | é a matriz |
Estágio do Conteúdo | concluido |
Transferível | 1 |
Tipo do Conteúdo | External Contribution |
Tipo de Versão | publisher |
Resumo | A new method of Plasma Immersion Ion Implantation (PIII) and deposition (PIII and D) for treating industrial components in the batch mode has been developed. A metal tubular fixture is used to allocate the components inside, around, and along the tube, exposing only the parts of each component that are to be ion implanted to the plasma. Hollow cathode-like plasma is generated only inside the tube filled with the desired gas, by applying high negative voltage pulses to the hollow cylindrical fixture which is insulated from the vacuum chamber walls. This is a very convenient method of batch processing of industrial parts by ion implantation, in which a large number of small to medium sized components can be treated by PIII and PIII and D, very quickly, efficiently, and also at low cost. |
Área | FISPLASMA |
Arranjo 1 | urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção anterior à 2021 > LABAP > New method of... |
Arranjo 2 | urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção pgr ATUAIS > CMS > New method of... |
Conteúdo da Pasta doc | acessar |
Conteúdo da Pasta source | não têm arquivos |
Conteúdo da Pasta agreement | |
|
4. Condições de acesso e uso | |
URL dos dados | http://urlib.net/ibi/8JMKD3MGP3W34P/3L9LS3P |
URL dos dados zipados | http://urlib.net/zip/8JMKD3MGP3W34P/3L9LS3P |
Idioma | en |
Arquivo Alvo | ueda.pdf |
Grupo de Usuários | simone |
Grupo de Leitores | administrator simone |
Visibilidade | shown |
Política de Arquivamento | allowpublisher allowfinaldraft |
Permissão de Atualização | não transferida |
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5. Fontes relacionadas | |
Repositório Espelho | urlib.net/www/2011/03.29.20.55 |
Unidades Imediatamente Superiores | 8JMKD3MGPCW/3ET2RFS 8JMKD3MGPCW/3F358GL |
Lista de Itens Citando | sid.inpe.br/mtc-m21/2012/07.13.14.52.24 2 sid.inpe.br/mtc-m21/2012/07.13.14.59.24 2 sid.inpe.br/bibdigital/2013/09.25.21.49 1 |
Divulgação | WEBSCI; PORTALCAPES; MGA; COMPENDEX; SCOPUS. |
Acervo Hospedeiro | sid.inpe.br/mtc-m21b/2013/09.26.14.25.20 |
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6. Notas | |
Campos Vazios | alternatejournal archivist callnumber copyholder copyright creatorhistory descriptionlevel e-mailaddress format isbn keywords label lineage mark nextedition notes orcid parameterlist parentrepositories previousedition previouslowerunit progress project readpermission rightsholder schedulinginformation secondarydate secondarykey session shorttitle sponsor subject tertiarymark tertiarytype url |
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7. Controle da descrição | |
e-Mail (login) | simone |
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